日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理

日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下 

保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC) 

使用環(huán)境溫度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃ 

使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH 

使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 

耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí) 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。

因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

以往使用激光的激光式定位傳感器，

激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，危險(xiǎn)

氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，

吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。

因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。

而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

中心測(cè)量距離 45mm 

檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) 

可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3) 

檢測(cè)角度 12.5±5°(注4) 

晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5) 

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