YS神視晶圓定位傳感器性能參數(shù)

YS神視晶圓定位傳感器性能參數(shù)

特點(diǎn)

耐沖擊 加速度490m/s2(約50G)　X,Y和Z方向各3次

投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)

受光元件 光電二極管

材質(zhì) 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁

電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器

消耗電流70mA以下

檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。

高分辨率30μm

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。

無需光軸調(diào)整

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。

并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

適用控制器 HD-T1C

檢測(cè)寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)

檢測(cè)距離 30mm(固定)(注2)

保護(hù)構(gòu)造 IP40(IEC)

使用環(huán)境溫度 0～+40℃(注意不可結(jié)露)，存儲(chǔ)時(shí)：-20～+55℃

無需任何安全措施

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時(shí)必備的保護(hù)罩，在美國使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

施工簡(jiǎn)便

使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。配線工時(shí)降至較限度，維護(hù)輕松。

施工簡(jiǎn)便

使用環(huán)境濕度 35～85%RH、存儲(chǔ)時(shí)：35～85%RH

使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振動(dòng) 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

產(chǎn)品圖片：

YS神視晶圓定位傳感器性能參數(shù)