德國(guó)式傳感器，BURKERT傳感器樣本

    德國(guó)式傳感器，BURKERT傳感器樣本

    所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí)，該傳感

    管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差，

    (RS) 不斷被加熱，使其與介質(zhì)溫度（由 RT 測(cè)得）

    工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測(cè)量電阻 (RT) 之間

    的硅芯片，用于測(cè)量流量。采

    其中之一就是對(duì)于流量變化的響應(yīng)極快。帶 CMOS 傳感器

    用 CMOS 傳感器技術(shù)，在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的

    該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直

    該式傳感器為 CTA（恒溫風(fēng)速計(jì)）

    接接觸，因此具有許多特定的YS，

    溫度傳感器（分別位于上游和下游）。

    如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度，則兩個(gè)溫度傳感器的

    。由于加熱電阻和測(cè)量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，

    氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測(cè)量介質(zhì)溫度，另一個(gè)阻值電阻

    器的響應(yīng)時(shí)間極短，只有幾百毫秒。

    使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管

    的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間，且靈敏度高，即使流量很小時(shí)也是如此。

    MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測(cè)得的質(zhì)量流量非常

    8711/8701、8712/8702、8713/8703 型

    五個(gè)電阻連接成一個(gè)測(cè)量電橋。

    CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測(cè)量的。主

    之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電

    電壓差即可用于測(cè)量旁路通道內(nèi)流過(guò)芯片的氣體的質(zhì)量流量。

    此外，該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。

    CMOS 傳感器道內(nèi)壁上裝有帶膜

    與在主管道中進(jìn)行測(cè)量的式傳感器不同，

    保持一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi)；

    流即用于測(cè)量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。

    另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。

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