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95 % 所需的 時間,單位為毫秒。
響應時間 流量從 Q1 突變到 Q2 時,MFM 達到
新值的 95 % 所需 的時間: QMFM (t95) = Q1 + 0.95 (Q2 - Q1)
精度 以讀數(shù)的± x %,滿量程的 ± y % 表示。
justable ratio of the minimum adjustable flow
rate to the rated flow rate, such as 1:50.
After the settling time is changed, the MFC
reaches the difference between the old and new flow rates
一個值為相 對百分數(shù);個值為基本百分數(shù)。
重復性 以滿量程的 ± x % 表示。重復性是指:
重復設置同一個 設定值時,所產(chǎn)生的實際測量值的偏差。
標準狀態(tài) 標準狀態(tài)定義為: pS = 1.013 bar 絕壓 tS = 20 °C (293 K)
密度 密度 (ρ) 是質(zhì)量流量 ( m ·) 與體積流量之間的關系 ( V ·)。
同時還必須考慮與密度有關的壓力和溫度條件
滿量程范圍/額定流量 Qnom 滿量程范圍是指滿
量程值的范圍。其小值是小的滿 量程值/額定流量;
其較大值是較大的滿量程值/額定流 量。單位為標準升/分
或標準立方厘米/分等。
工作介質(zhì)/標定介質(zhì) 一般情況都采用工作介質(zhì)進行標定;
特殊情況下采用參 考氣體(如氮氣)。
kV 值 (流量系數(shù)) kV 值也稱流量因子或流量系數(shù)。
它代表氣體或液體流過 一個閥門時可以達到的流量,用于選擇閥門尺寸。
(See "Normal State" and "Standard State" above) ρ = m · / V ·
Valve Equity (ψ) ψ = (Δp) V0 / (Δp) 0 (Δp) V0 =
When the valve is fully open, the pressure drop
of the MFC (Δp) 0 = the pressure drop across the system
kV 值 的單位為 m3/h。它相當于水在溫度 5 - 30?°C、
閥兩端壓 差 1 bar 時,流過閥門的流量 ( m3/h) 。
cV 值 (流量系數(shù)) 類似于 kV 值,但是用于英制測
量系統(tǒng),單位為 US 加 侖/分,相當于在閥兩端壓差
1 psi 和水溫 60 °F 時測得 的流量。 cV = kV*1.17
正常狀態(tài) (DIN 1343) 正常狀態(tài)定義為:
pN = 1.013 bar 絕壓 tN = 0 °C (273 K)
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