CA2TN50-150,SMC流量調(diào)節(jié)閥中文資料
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聯(lián)系人;居琦
特長 ##內(nèi)置中空濾芯。
##壓力降:0.03MPa(入口壓0.7MPa、較大流量時)
##對應(yīng)RoHS指令(限制有害成分)
注) 入口空氣條件相當于ISO 8573-1品質(zhì)等級1.4.1~1.6.1
系列 使用流體 設(shè)定壓力 流量范圍 L/min (ANR)
直筒式 SFB100 Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特長 ##可更換濾芯的卡盤式。
一次性使用式
直筒式 SFB300 Max.15MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多層盤式 SFC100 Max.1.8MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特長 ##用于半導體工藝的一次性使用式。
潔凈氣體濾網(wǎng) SFB200 Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 120μm
系列/CAD 種類 使用壓力 過濾精度
SFD100 一次性使用式
(不可更換濾芯) MAX.1.0MPa 0.01μm
(捕捉效率:99.99%)
SFD200 卡盤式
(可更換濾芯)
LLB3 潔凈空氣
氮氣注) 0.05~0.4MPa 5~100
LLB4 50~500
特長 ##潔凈元件模塊化(削減配管工時/省空間)。
##可簡便得到清潔空氣。
##過濾精度:0.01μm(捕捉效率99.99%)。
##接流體部:無潤滑脂、無硅。
##潔凈室組裝兩層捆包出廠。
##可有24種組合。
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